G-43D4型高精密單面光刻機(jī)

產(chǎn)品介紹：

設(shè)備概述:

本設(shè)備是我公司根據(jù)市場需求研發(fā)的產(chǎn)品，可以光刻Φ4"以下基片，對(duì)被光刻基片的外形、厚度要求較低，可對(duì)多種材料的基片進(jìn)行光刻。它特別適用進(jìn)行一次光刻的產(chǎn)品,可制作聲表面器件、可控硅、小液晶顯示器、傳感器、二極管、園光柵、編碼盤等。按用戶要求可提供圓形承片臺(tái)或方形承片臺(tái),不管哪一種承片臺(tái)，都能實(shí)現(xiàn)“真空密著”曝光,加之光均勻性好，所以大大提高光刻質(zhì)量。

曝光頭及部件圖

-主要構(gòu)成
主要由防震工作臺(tái)、高均勻性<span style="font-family:" font-size:16px;"="">LED4"專用曝光頭、氣動(dòng)系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)、直聯(lián)式真空泵及附件箱等組成。

主要功能特點(diǎn)

Φ100mm以下，厚度(包括非圓形基片

 

有真空掩膜版架、真空片吸盤。    3. 操作簡便  本設(shè)備操作簡單，調(diào)試、維護(hù)、修理等都非常簡便。    4. 設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定、可靠  采用進(jìn)口電磁閥、按鈕、定時(shí)器；采用獨(dú)特的氣動(dòng)系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)和精密的機(jī)械

  的基片造成的版片分離不開所引起的版片無法對(duì)準(zhǔn)的問題<span style="font-family:;" "="">

主要技術(shù)參數(shù)：

1、操作方式：手動(dòng)。

2、曝光模式：接觸式曝光。

3、曝光面積：Φ4"，配置4"LED專用曝光頭，紫外光源壽命≥2萬小時(shí)

4、紫外光源：365nm。

5、實(shí)現(xiàn)“真空密著”曝光，但基片厚度≤2mm。

6、分辨率：2um

7、 光的不均勻性：≤±3%；

8、樣品尺寸：Φ100mm。

9、曝光強(qiáng)度：0～30mw/ cm2可調(diào)（此指標(biāo)用紫外光源I線365nm測(cè)量）。